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氮化物由于其在各个领域(如半导体，环境，能源等方面)都展现出其优良的特性和广阔的应用前景，一直以来都是重要的研究对象。本文研制了......
离子束技术已广泛应用于电子、材料、光学、医学和生物等多种领域，并取得了可观的技术效果与经济效益，尤其是在光学领域中采用此项技......
为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种......
