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离子注入退火相关论文
碲镉汞电子雪崩光电探测器制备技术研究
近年来,以大规模、集成化、多色化、微弱信号和三维探测为主要特点的第三代红外焦平面探测器成为碲镉汞红外焦平面探测器的主要发展......
学位
碲镉汞电子雪崩光电二极管探测器
制备方法
金属半导体接触
pn结轮廓尺寸
As掺杂
离子注入退火
离子注入硅退火及退火过程热力学研究
离子注入及退火工艺是半导体工艺掺杂的重要手段,是大规模及超大规模集成电路、光电集成电路的重要工艺环节,在“杂质工程”及“能......
学位
离子注入退火
温度计算
形核
再结晶
弹性应变能
共格因子
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