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报道了用氟利昂ＣＨＦ３和氩气Ａｒ作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术，研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响，并分析了刻......
通过大量的实验研究，介绍了反应离子刻蚀的原理，分析了不同材料反应离子刻蚀的机理和关键的工艺因素，给出了工艺参数结果。......
介绍在微电子加工工艺设备的基础上研究制作８位相台阶衍射光学元件（ＤＯＥ）的工艺方法。对光刻曝光、反应离子刻蚀（ＲＩＥ）等关键工艺进行了实验，得到......
介绍了利用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件的原理和方法，给出了制作结果。...
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中海油惠州石化有限公司在安装循环尾气压缩机管壳式换热器时,选用了进口管束,但是后期运行的过程中冷却器管束出现了开裂的情况。......
