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离子辅助沉积硅相关论文

空间RB—SiC反射镜的表面离子辅助镀硅改性技术

针对空间相机用反射镜RB-SiC材料由Si／SiC两相结构引起的光学表面缺陷问题，提出了表面离子辅助沉积（IAD）硅膜的改性新方案以优化RB-SiC......

期刊

反应烧结碳化硅表面改性离子辅助沉积硅表面反射率 RB-SiC surface coating IAD-Sisurface reflectivity

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