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离子辅助沉积镀膜工艺相关论文
封闭漂移阳极层型线性离子源的研究
封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装......
学位
线性离子源
封闭漂移
阳极层
电磁场
Maxwell
三维模拟
离子辅助沉积镀膜工艺
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