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基于双波长移相干涉的阶跃型三维形貌高精度检测技术研究
阶跃型元件是一种表面非连续、有形貌突变的元器件,具有宏观基底面形和微观浮雕双重三维形貌特征。特别是应用于红外波段的阶跃型......
学位
阶跃型元件
三维形貌
双波长移相干涉
多光束干涉
莫尔条纹
空域载频
时域移相
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