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空穴缺陷相关论文
B~+、P~+离子注入p-Si中产生的缺陷及其退火特性的DLTS研究
用电容及电流DLTS方法测量了B~+、P~+离子注入掺硼p-Si中引进的空穴缺陷能级及其退火行为.在两种离子注入样品中都测到的空穴陷阱......
期刊
离子注入
P-SI
空穴缺陷
DLTS
退火
Ion implantation hole traps capacitance
current DLTS
PMOSFET中负栅压温度不稳定性的空穴俘获机理
负栅压温度不稳定性(NBTI)是现代CMOS工艺中最重要的研究方向之一。尽管NBTI已经研究了40多年,其退化机理仍然存在很大的争议。一......
学位
负栅压温度不稳定性
场辅助LRME模型
空穴缺陷
能级分布
PNO
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