立式干涉仪相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

立式干涉仪相关论文

离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究

基于立式Fizeau型干涉仪曲率半径测量系统,提出了一种简捷的离焦补偿算法,该算法对猫眼和共焦零位置的离焦量进行补偿,达到了提高......

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离焦测量精度测量离焦补偿补偿算法曲率半径立式干涉仪干涉仪共焦偏移量

亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析

针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量。为了验证......

期刊

测量曲率半径立式干涉仪不确定度交叉测量

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