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平面度测量是几何量计量中的一项重要组成部分。平晶,作为对平面的平面度、直线度、平行度以及研合性进行检测的基本计量器具,对其......
本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造，通过加装CCD相机，将干涉图像采集到计算......
在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求。本文将对此问题进行分析,最......
将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准......
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