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低压射频等离子体生成及清洗效果研究
等离子体清洗技术利用高能量等离子体的轰击被清洗表面,通过物理作用使得污染物从金属表面脱落,同时,电离气体产生的活性粒子会与......
学位
电容耦合式
等离子清洗
清洗方式
低压射频
等离子仿真
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