等离子体抛光相关论文
具有耐腐蚀、热膨胀系数低等诸多优良物理化学特性的石英玻璃在高性能光学系统中被广泛使用。其要求元件达到纳米级的表面粗糙度,......
等离子体抛光技术是一种成本低、无污染、无废弃物的新兴超光滑表面加工方法,能够获得传统加工方法难以达到的处理效果,已经广泛应......
介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源......
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件，引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进......
在科学和工程技术领域,超精密光学元件制造技术正在成为关注的热点。光学元件超精密化发展,是光学系统自身发展极限化所提出的要求......
