等离子体气氛相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

等离子体气氛相关论文

0.18μm以下低k介质材料上的低离子等离子体去胶工艺

本文论述了下游式等离子体在多种Cu／低k材料上去胶及去残留物的工艺应用，主要有3类低k材料的实验数据——有机类、掺氮氧化物和多孔......

期刊

下游式等离子体低K介质材料去胶工艺掺氮氧化物多孔性低k材料等离子体气氛

射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析

作为宽能隙直接能带结构半导体材料，AlN、GaN、InN等Ⅲ族氮化物由于高效率可见光和紫外光发射以及光响应特性而在全色光器件方面具......

学位

磁控溅射 AlN薄膜表面形貌结晶特性薄膜生长光学性能等离子体气氛

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