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等离子增强化学气相法相关论文
碲镉汞衬底上沉积类金刚石薄膜的界面分析
采用等离子增强化学气相法(PECVD)在碲镉汞(MCT)衬底上沉积纳米颗粒的类金刚石薄膜(DLC),对DLC/MCT界面进行了俄歇电子能谱(AES)分......
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碲镉汞衬底
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