等离子增强型化学气相沉积(PECVD)相关论文
折射率是反映薄膜成分以及致密性的重要指标，是检验薄膜制备质量的重要参数，其变化直接影响太阳能电池的转化效率。本文研究了不同射......
针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)技术,以SiH4和N2O为反应气体,低温制......
折射率是反映薄膜成分以及致密性的重要指标,是检验薄膜制备质量的重要参数,其变化直接影响太阳能电池的转化效率。本文研究了不同......
