筒形溅射源相关论文
高功率脉冲磁控溅射技术被提出以来就受到业界广泛关注,其较高的溅射材料离化率结合适当的电磁控制,可产生高致密度、高结合力和高......
高功率脉冲磁控溅射以较高的溅射材料离化率及其所带来的高致密度、高结合力和高综合性能成为物理气相沉积领域的新宠,然而其沉积......
