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类富勒烯碳薄膜相关论文
类富勒烯碳薄膜的结构演变及摩擦学性能研究
通过等离子体增强化学气相沉积技术,以不同沉积时间在硅表面上制备类富勒烯碳薄膜,探究类富勒烯碳薄膜结构演变和摩擦学性能随沉积......
期刊
类富勒烯碳薄膜
化学气相沉积
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