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类石墨碳镀层相关论文
磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析
利用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅片上沉积了类石墨碳镀层,采用X射线衍射(XRD)、激光Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)等分析方法......
期刊
非平衡磁控溅射
类石墨碳镀层
微结构
RAMAN光谱
X射线光电子能谱
unbalanced magnetron sputtering deposition
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