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粗糙化机理相关论文

微波集成电路（MIC）中Au／NiCr／Ta多层金属膜粗糙化机理的AFM研究

Au/NiCr/Ta多层金属膜通过磁控溅射沉积在Si(111)基片上.XRD分析其晶体取向,SEM观察薄膜断面形貌,AFM研究薄膜表面粗糙度.结果表明......

期刊

微波集成电路多层金属膜原子力显微镜表面粗糙度粗糙化机理金钽镍铬合金磁控溅射硅衬底 Metallic films AFM Surface rou

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