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硅通孔中垂直铜互连成形过程的数值模拟研究
硅通孔技术是实现芯片在三维方向堆叠的技术,此技术具有提高芯片在平面上的集成密度、减小外形尺寸、降低互联延迟和实现低功耗等......
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TSV铜互连
动力学解析
数值模型
协同作用
系统性模型
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