系统波像差相关论文
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面......
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投......
投影光刻物镜是光刻机的核心部件。随着光刻技术的发展,对投影光刻物镜成像质量的要求也越来越高。系统波像差不但是评价投影光刻......
光栅横向剪切干涉仪可以实现超高精度的光刻镜头系统波像差检测,为了实现超高精度的绝对检测,必须消除来自干涉仪的系统误差。本文......
