紫外光刻电铸相关硕士博士期刊学术论文

针对复杂微型腔制作的难点，基于紫外光刻电铸（UV—LIGA）技术和掩膜腐蚀的方法加工了细胞皿微型腔。以聚丙烯（PP）进行单因素充模流动工艺......