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约束刻蚀体系相关论文
约束刻蚀体系和光腐蚀体系中刻蚀反应动力学的研究
微纳米加工技术不仅能实现功能结构与器件的微小型化,也可以构筑具有许多不同于宏观尺度特性的微纳材料和结构。超大规模集成电路、......
学位
半导体材料
约束刻蚀体系
光腐蚀体系
反应动力学
约束刻蚀剂层
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