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纳尺度结构和化学表征相关论文
高k栅介质原子分辨率的电镜表征:研究进展和展望
随着特征尺寸不断缩小,CMOS器件已步入纳米尺度范围,因此纳米尺度器件的结构表征变得尤为关键。完备的半导体器件结构分析,要求确定原......
期刊
高k栅介质材料
纳尺度结构和化学表征
HRTEM
STEM
EELS和EDS
High-k gate dielectrics nanoscale struct
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