文章首先给出纳米及纳米测量的概念，接着从光学和非光学测量系统着手，阐述了几种主要的纳米测量技术，并对纳米测量系统的各组成部分的......

课题运用法布里—珀罗干涉原理、光纤技术和光谱分析技术，选取平板玻璃片(SiO2)作为测量系统的干涉腔，使用探测器测量双光束出干涉腔......

本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,用该方法进行了一维纳米......

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针对先进制造业中有关微/细加工和超精密加工中对微纳米尺寸测量和溯源的需求，本文围绕纳米标准样板的测量环境、测量系统、测量方......

介绍了用89C52单片机实现对纳米测量系统中测量部分的控制以及测量数据的采集过程的硬件实现,详细介绍了模糊PID控制器的参数设计......