纳米级定位相关论文
惯性粘滑驱动的跨尺度精密运动平台因为集成度高、行程大、分辨率高、结构简单等优点,受到了国内外学者的重视,并取得了很大的发展......
该文根据纳米级定位技术的需求，提出了机构、驱动、检测一体化的定痊技术和控制方法，分析了其中的关键问题，并介绍了作者设计的几种典......
随着科学技术的发展和人们研究领域的不断拓宽,操作对象已从宏观领域扩展到微观领域.为完成显微外科、细胞操作、超精密加工及测量......
该文的研究目的是设计—用于近场光学扫描显微镜的精密扫描平台,研究利用压电陶瓷作为驱动器的扫描平台的精度.通过对压电陶瓷特性......
随着科学技术的发展,人们的研究已扩展到微观领域。在显微外科、超精密加工等领域急需达到纳米级定位精度。而在微操作器、微小型......
考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以......
