纳米级振动传感器相关论文
该课题从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米级振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,在此......
微振动是提高纳米测量精度的主要障碍,为了减小微振动在STM测量中的影响,需要对微振动进行隔离和检测.因此,抗振、隔振及振动补偿......