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纳米高度标准样品相关论文
纳米高度标准样品的制备与标定
研究以金属Cr为例进行。采用射频磁控溅射法,在Si/SiO2及玻璃基底上溅射制备了不同参数的Cr薄膜,研究了不同溅射功率、沉积气压、靶......
期刊
纳米高度标准样品
Cr薄膜
平整度
磁控溅射
nano-scaled reference materials
magnetron sputter ion pla
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