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用线性真空规测量小孔分子流流导的方法研究
提出了用线性真空规测量小孔分子流流导的方法,该方法利用了线性真空规两次测量压力的比值,避免了真空规测量绝对压力引入的不确定......
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小孔流导
测量方法
线形真空规
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