结晶硅薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

结晶硅薄膜相关论文

采用固相晶化和准分子激光晶化制备结晶硅薄膜的对比

为制备高质量的结晶硅薄膜,以工业玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅（α-Si）薄膜,然后分别通过固相晶化和准......

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非晶硅薄膜结晶硅薄膜固相晶化准分子激光晶化结晶率 amorphous silicon thin filmcrystalline silicon thin

非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱

以玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅（α-Si）薄膜,然后通过准分子激光晶化方式获得结晶硅（nc-Si）薄膜,采用激......

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非晶硅薄膜结晶硅薄膜准分子激光晶化拉曼光谱拉曼位移

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