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结晶结构和形貌相关论文
常压射频等离子体沉积TiO2纳米晶颗粒薄膜的气相反应影响因素分析
采用常压射频等离子体增强化学气相沉积法(AP-PECVD)制备了TiO_2纳米晶颗粒薄膜,研究了不同等离子体滞留时间下气相反应对沉积过程......
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TiO2纳米晶颗粒薄膜
射频放电
等离子体气相反应
结晶结构和形貌
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