绝对式扫描测量相关硕士博士期刊学术论文

该文提出了一种差动共焦式探针轮廓扫描技术原理，这一轮廓扫描技术具有纵向分辨力高，信号稳定性好和可实现非连续轮廓的绝对式扫描测......