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光学平面元件绝对检验及其关键技术研究
光学干涉测量是获取、记录及计算光波相干叠加形成明暗条纹的一种测量方法,该方法测量精度可达到深亚波长量级,同时兼具大量程、非接......
学位
光学平面元件
绝对检验技术
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