绝缘体上晶体硅相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

绝缘体上晶体硅相关论文

浅刻蚀弧形SOI脊形波导侧向泄漏分析与器件设计

集成光学的发展需要底层器件的基础研究，而绝缘体上晶体硅(SOI)脊形波导及相应器件在集成光学中应用广泛。本文在调研相关文献的基......

学位

浅刻蚀脊形波导绝缘体上晶体硅侧向泄漏损耗特性定向耦合器

一种非矩形截面对浅刻蚀SOI脊形波导侧向泄漏损耗的影响

为了进一步探索用绝缘体上晶体硅制作的浅刻蚀脊形波导侧向泄漏损耗的规律，提出并研究了一种非矩形截面浅刻蚀绝缘体上晶体硅脊形波......

期刊

导波光学浅刻蚀脊形波导绝缘体上晶体硅泄漏波光损耗

看过本文同时还关注