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绝缘体上的硅锗相关论文
氧化增强注氧隔离工艺制备绝缘体上的硅锗
提出一种氧化增强注氧隔离工艺,在退火前氧化得到SiO2层,再进行高温退火得到绝缘体上的硅锗材料。经X射线摇摆曲线和拉曼测试发现所......
期刊
绝缘体上的硅锗
注氧隔离
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SiGe - on - insulator separation - by - implantation - of - o
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