绝缘体上硅(SOI)材料相关硕士博士期刊学术论文

为了抑制埋层注氮导致的埋层内正电荷密度的上升,本文采用氮氟复合注入方式,向先行注氮的埋层进行了注氮之后的氟离子注入,并经适......