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镍锗/锗肖特基结热稳定性与氧化锗/锗栅极堆垛缺陷行为研究
得益于金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor,MOSFET)性能提高、尺寸缩小,半导体集成......
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锗
杂质分凝
肖特基结
二氧化锗
缺陷生成速率
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