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翘板式SOI电容压力传感器
电容压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。在汽车电子、医学、航空航天以及......
学位
电容压力传感器
翘板结构
牺牲层释放
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