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耦合反应磁控溅射相关论文
直流/射频耦合反应磁控溅射法类金刚石薄膜的制备与分析
采用直流/射频耦合反应磁控溅射法在Si(111)衬底上使用高纯石墨靶材制备出了类金刚石(DLC)薄膜。分别采用表面轮廓仪、激光拉曼光......
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