探讨了５×１０＾－３Ｐａ真空条件下Ｐｄ在２４０Ｋ低温聚乙醇缩甲醛衬底上气相沉积的特征。由透射电镜（ＴＥＭ）分析发现，在２４０Ｋ的ＰＶＦ衬底上沉积的Ｐｄ膜结构与ＰＶＦ衬底温度为３００Ｋ时沉积......