聚合物微器件相关论文
在聚合物微结构加工领域,超声波压印成形技术作为一种比较新的加工微结构的技术,相对于传统的微结构加工技术的优势有很多,例如,清......
将超声波联接技术应用于聚合物微器件的联接,搭建了超声波精密联接系统。为了保证微器件在精密联接中的形状精度,选用工作频率为60......
以一种平板微器件-微流控芯片制造为研究对象,针对单一的注塑成型工艺难以保证器件的宏微形位误差的难题,提出了一种新颖的聚合物......
为了解决当前聚合物MEMS器件键合技术中存在的问题，将塑料超声波焊接技术引入聚合物微器件键合领域，从而形成了一种新的MEMS键合工艺......
聚合物平板微器件在生命科学和光学领域有广泛用途。如微流控芯片、导光板等。由于微注塑成型具有成型周期短、自动化程度高等优点......
聚合物微器件作为新兴的微电子机械系统器件（MEMS）凭借其独特的材料性能优势正面临快速的发展。与传统的硅基MEMS器件相比，聚合物材料......
聚合物已逐渐取代传统硅、玻璃等材料而广泛应用于MEMS器件与系统的制造。作为MEMS制造中的关键环节,聚合物微器件的联接由于种种......
