聚合物自洽场理论相关硕士博士期刊学术论文

在现代半导体工业中，由于光波长限制，传统光刻蚀技术在器件设计上逐渐达到其尺寸极限.近年来共聚物刻蚀法正成为一种克服传统刻蚀技......