聚合物薄膜刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

聚合物薄膜刻蚀相关论文

对大气压低温等离子体刻蚀聚合物薄膜的工艺研究

研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置......

期刊

大气压等离子体射流单环电极双环电极聚合物薄膜刻蚀表面形貌 atmospheric pressure plasma jet single-ring ele

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