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超声波键合能量引导微结构PMMA基片的制作
为了用超声波键合的方法实现微流控芯片的封装,采用选择性键合方式在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片的微沟道两侧设计、制作了能量引导微......
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聚甲基丙烯酸甲酯基片
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