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MOCVD生长InGaN薄膜及其离子束背散射沟道研究
采用MOCVD系统AlO为衬底在CaN膜上生长了InCaN薄膜。以卢瑟福背散射/沟道(RBS/channeling)技术和光致发光(PL)技术对InCaN样品进行......
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InCaN薄膜
离子束
背散射沟道技术
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