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腔破坏凹槽相关论文
980nm锥形半导体激光器刻蚀工艺
为了解决半导体激光器传统刻蚀工艺中侧壁陡直度差和器件难以重复制作的问题,利用湿法腐蚀与干法刻蚀相结合的刻蚀手段,对980nm锥......
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锥形半导体激光器
陡直度
刻蚀工艺
脊波导
腔破坏凹槽
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