膜内应力相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

膜内应力相关论文

基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响

为得到高质量的纳米金刚石膜,采用ANSYS软件对基体表面的温度场进行仿真,分别模拟不同热丝数量、不同热丝间距以及不同热丝/基体间......

期刊

化学气相沉积热丝/基体距离膜内应力温度场 chemical vapor depositiondistance between the hot wire a

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