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膜厚组合周期数相关论文
ZrO2/SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响
ZrO2/SiO2多层膜由相同沉积条件下的电子束蒸发方法制备而成,通过改变多层膜中高(ZrO2)、低(SiO2)折射率材料膜厚组合周期数的方法......
期刊
ZrO2/SiO2多层膜
残余应力
膜厚组合周期数
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