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膜间粘连相关论文
全聚合物波导微环无热化设计及衬底制备研究
近年来聚合物以其成本低、折射率可控制、制备工艺简单、柔性易集成等优点,基于聚合物材料的集成光波导器件研究受到极大关注。其......
学位
聚合物波导微环
无热化
热膨胀系数
膜厚控制
膜间粘连
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