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自支撑膜结构相关论文

自支撑氮化硅膜结构制备工艺优化

自支撑氮化硅膜结构一般是基于微纳加工技术来制备的。为了提高膜结构的品质,本文分别对自支撑氮化硅膜结构制备中的干法刻蚀参数......

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氮化硅干法刻蚀各向异性湿法腐蚀单晶硅自支撑膜结构 silicon nitride dry etching anisotropic wet etching

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