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自支撑闪耀透射光栅相关论文
用于X射线光谱分析的高效率自支撑闪耀透射光栅的制作
自支撑闪耀透射光栅集中了透射光栅分光作用的优点和反射式闪耀光栅非零级次闪耀的特点,在激光惯性约束核聚变、天文物理、量子电......
学位
X射线
自支撑闪耀透射光栅
严格耦合波方法
占宽比
金属催化刻蚀
软X射线自支撑闪耀透射光栅的制作
作为一种新型的透射光栅,自支撑闪耀透射光栅集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点,在激光惯性约束核聚变(ICF)、 X射线......
学位
软X射线
自支撑闪耀透射光栅
SOI
全息光刻
各向异性湿法刻蚀
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